传感器设备集成了越来越多的数字化电路和接口。一些控制领域的应用，要求很多不同的输入以及多变量的处理。这些复杂的要求只有数字电路应付得过来。然而，在另一些应用中，模拟依旧占主导地位。
传感器提供了数字输出信号，这需要内部具备集成的电路，如ADC以及串行器。因为制造方式相同，所需材料相同，基于MEMS的传感器非常适合数字化。
欧洲MeasurementSpecialties的首席执行官FrankGuidone解释，“MEMS与集成电路的结合，可以使工业解决方案的设计摒弃那些需要复杂信号处理的传统技术。”
最近在德国纽伦堡进行的Test+Sensor贸易展览中，该公司展示了一款基于MEMS的润滑剂油质传感器。该设备包括了一个MEMS音叉，可以同时测量润滑剂的不同指标，如粘度、密度、介电常数以及温度等。综合这些指标，该设备可以一分钟内检测出润滑剂的降解。
在一些重型卡车上，这样的传感器可以用于离线油质分析，并通知卡车的操作员何时需要换油。Guidone称，“在现今油价持续高位的形势下，这将能取得很好的经济效益。”
ADI公司(AnalogDevicesInc.)也将MEMS传感器与集成电路相结合，开发出一款ADSL001工业振动和冲击传感器。
